Bitewe n’iterambere rihoraho ry’ikoranabuhanga rya semiconductor, mu nganda za semiconductor ndetse no mu nganda za photovoltaic, ibisabwa ku bwiza bw’ubuso bwa wafer substrate cyangwa epitaxial sheet nabyo birakomeye cyane. None se, ni ibihe bisabwa ku bwiza bwa wafer?agace k'umugati ka safiroUrugero, ni ibihe bimenyetso bishobora gukoreshwa mu gusuzuma ubwiza bw'ubuso bwa wafers?
Ni ibihe bimenyetso by'isuzuma rya wafers?
Ibipimo bitatu
Ku macupa ya safiro, ibipimo byayo byo gusuzuma ni ukunyuranya k'ubugari bwose (TTV), kugonda (Bow) na Warp (Warp). Ibi bipimo bitatu hamwe bigaragaza ubugari n'ubugari bwa silicon wafer, kandi bishobora gupima urwego rw'ubugari bwa wafer. Ingufu zishobora guhuzwa n'ubugari kugira ngo harebwe ubwiza bw'ubuso bwa wafer.
TTV, BOW, Warp ni iki?
TTV (Impinduka y'Ubunini Rusange)
TTV ni itandukaniro riri hagati y'ubugari ntarengwa n'ubugari buke bwa wafer. Iyi parametre ni ikimenyetso cy'ingenzi gikoreshwa mu gupima ubugari bwa wafer. Mu buryo bwa semiconductor, ubugari bwa wafer bugomba kuba bungana cyane ku buso bwose. Ibipimo bikunze gupimwa ahantu hatanu kuri wafer kandi itandukaniro rirabarwa. Amaherezo, iki giciro ni ishingiro ry'ingenzi ryo gusuzuma ubwiza bwa wafer.
Umuheto
Umuheto mu nganda za semiconductor bivuga ukugonda kwa wafer, bigabanya intera iri hagati y’igice cyo hagati cya wafer idapfundikiye n’aho irebera. Iri jambo rishobora kuba rikomoka ku gusobanura imiterere y’ikintu iyo gipfundikiye, nk’imiterere y’umuheto. Agaciro k’umuheto gasobanurwa no gupima itandukaniro riri hagati y’igice cyo hagati n’inkombe cya wafer ya silicon. Iki giciro gikunze kugaragara muri mikorometero (µm).
Ifuro
Warp ni umutungo rusange w’udupira tw’isukari dupima itandukaniro riri hagati y’intera ntarengwa n’intera ntoya iri hagati y’agapira kadapfundikiye n’agapira k’isukari. Igaragaza intera iri hagati y’agapira ka silikoni n’agapira k’isukari.
Itandukaniro riri hagati ya TTV, Bow, Warp ni irihe?
TTV yibanda ku mpinduka mu bunini kandi ntiyitaye ku kugorama cyangwa ku kugoreka kwa wafer.
Umuheto wibanda ku kugorora muri rusange, cyane cyane urebye uburyo inkingi yo hagati n'inkombe igorora.
Ipfundo ry'umugozi rirushaho kuba ryuzuye, harimo no kugonda no kuzunguza ubuso bwose bwa wafer.
Nubwo ibi bipimo bitatu bifitanye isano n'imiterere n'imiterere ya silika wafer, bipimwa kandi bigasobanurwa mu buryo butandukanye, kandi ingaruka zabyo ku mikorere ya semiconductor no gutunganya wafer nazo ziratandukanye.
Uko ibipimo bitatu ari bito, ni ko birushaho kuba byiza, kandi uko ibipimo ari binini, ni ko ingaruka mbi ku mikorere ya semiconductor ziba nyinshi. Bityo rero, nk'umuhanga mu by'imiti, tugomba kumenya akamaro k'ibipimo bya wafer profile mu mikorere yose, gukora imikorere ya semiconductor, no kwita ku bisobanuro birambuye.
(gusuzuma)
Igihe cyo kohereza: Kamena-24-2024