4H-N Dia205mm imbuto ya SiC yo mu Bushinwa P na D Monocrystaline

4H-N Dia205mm imbuto ya SiC yo mu Bushinwa P na D Urwego Monocrystaline Yerekana Ishusho

Ibisobanuro bigufi:

SiC imbuto ya kirisiti ni kristu yimbuto zikoreshwa mugukuza silicon karbide kristu imwe. Silicon karbide imbuto ya kirisiti ikoreshwa nkicyitegererezo mugihe cyo gukura kwa silicon karbide imwe ya kirisiti imwe ushyira silikoni karbide yibikoresho bya kirisiti hejuru yacyo kugirango kariside nshya ya silikoni imwe ikure ikurikije imiterere ya kristu yimbuto.

Ohereza imeri kuri twe

Ibicuruzwa birambuye

Ibicuruzwa

Uburyo bwa PVT (Transport Vapor Transport) nuburyo busanzwe bukoreshwa muguhinga karubone ya silicon karisiti imwe. Mubikorwa byo gukura kwa PVT, silikoni karbide imwe ya kirisiti ibikwa no guhumeka kumubiri no gutwara bishingiye kuri kirisiti ya kariside ya kariside ya kariside, kugirango kristu nshya ya silicon karbide imwe ikure ikurikije imiterere ya kristu yimbuto.

Muburyo bwa PVT, silicon karbide imbuto ya kirisiti ifite uruhare runini nkintangiriro nicyitegererezo cyo gukura, bigira ingaruka kumiterere nimiterere ya kristu ya nyuma. Mugihe cyo gukura kwa PVT, mugucunga ibipimo nkubushyuhe, umuvuduko hamwe na gaz-fase yibice, imikurire ya silicon karbide imwe ya kristu imwe irashobora kugaragara kugirango ibe nini-nini, yujuje ubuziranenge ibikoresho-bya kristu.

Iterambere ryikura ryibanze kuri silicon karbide yimbuto ya kristu yuburyo bwa PVT ifite akamaro kanini mugukora karbide ya silicon karbide imwe, kandi igira uruhare runini mukubona ubuziranenge bwiza, bunini bwa silikoni karbide imwe rukumbi.

8inch SiCseed kristal dutanga ni gake cyane kumasoko kurubu. Bitewe nuburyo bugoye bwa tekinike, inganda nyinshi ntizishobora gutanga ingano nini ya kristu. Ariko, dukesha umubano muremure kandi wa hafi nu ruganda rwa karubide ya silicon yubushinwa, turashobora guha abakiriya bacu iyi santimetero 8 ya silicon karbide imbuto ya wafer. Niba hari ibyo ukeneye, nyamuneka twandikire. Turashobora gusangira nawe ibisobanuro mbere.