Imashini ebyiri za mashini ya monocrystalline silicon inkoni itunganya 6/8/12 santimetero yubuso Ra≤0.5μm

Imashini ebyiri za mashini ya monocrystalline silicon inkoni itunganya 6/8/12 santimetero yubuso bwa Ra≤0.5μm Ishusho Yerekanwe

Ibisobanuro bigufi:

Imashini ya Monocrystalline silicon ya sitasiyo ya mashini ni ibikoresho byiza byo gutunganya inkoni ya silicon monocrystalline (Ingot). Ifata sitasiyo ya sitasiyo ikora kandi irashobora guca inkoni ebyiri icyarimwe, bikazamura neza umusaruro. Igikoresho gitunganya inkoni ya silikoni ya silicon muburyo bwa kwadarato / kwasi-kwadarato ya silicon (Grit) ikoresheje tekinoroji yo guca insinga ya diyama cyangwa ibyuma byizengurutsa imbere, yitegura gukata nyuma (nko gukora wafer ya silicon), kandi ikoreshwa cyane mubikorwa byo gutunganya ibikoresho bya silikoni mu nganda zifotora n’amashanyarazi.

Ohereza imeri kuri twe

Ibicuruzwa birambuye

Ibicuruzwa

Ibiranga ibikoresho ：

(1) Gutunganya sitasiyo ebyiri gutunganya
· Gukora inshuro ebyiri: Gutunganya icyarimwe inkoni ebyiri za silicon (Ø6 "-12") byongera umusaruro kuri 40% -60% nibikoresho byoroshye.

· Igenzura ryigenga: Buri sitasiyo irashobora kwigenga guhindura ibipimo byo kugabanya (tension, umuvuduko wo kugaburira) kugirango ihuze nibisobanuro bitandukanye bya silicon.

(2) Gukata neza
· Ibipimo byukuri: kwihanganira intera iringaniye intera ± 0.15mm, intera ≤0.20mm.

· Ubwiza bwubuso: gukata kumeneka <0.5mm, gabanya ingano yo gusya nyuma.

(3) Igenzura ryubwenge
· Gukata imihindagurikire y'ikirere: kugenzura-igihe nyacyo cya silicon inkoni ya morphologie, guhindura imbaraga zo guca inzira (nko gutunganya inkoni ya silicon yunamye).

· Gukurikirana amakuru: andika ibipimo byo gutunganya buri nkoni ya silicon kugirango ushyigikire sisitemu ya MES.

(4) Igiciro gito gikoreshwa
Gukoresha insinga za diyama: ≤0.06m / mm (uburebure bwa silikoni), diameter y'insinga ≤0.30mm.

· Gukwirakwiza ubukonje: Sisitemu yo kuyungurura yongerera igihe cya serivisi kandi igabanya guta imyanda.

Ikoranabuhanga niterambere ryiterambere:

(1) Gukata tekinoroji
- Gukata imirongo myinshi: imirongo ya diyama 100-200 ikoreshwa murwego rumwe, kandi umuvuduko wo gukata ni ≥40mm / min.

- Kugenzura impagarara: Sisitemu yo gufunga uburyo bwo gufunga (± 1N) kugirango ugabanye ibyago byo gucika insinga.

(2) Kwagura guhuza
.

- Ingano yoroheje: uburebure bwa silicon uburebure bwa 100-950mm, intera ya kare impande 166-233mm irashobora guhinduka.

(3) Kuzamura Automation
- Gutwara imashini no gupakurura: gupakira byikora / gupakurura inkoni ya silicon, gukubita iminota 3.

- Isuzuma ryubwenge: Guteganya guteganya kugabanya igihe cyateganijwe.

(4) Ubuyobozi bw'inganda
- Inkunga ya Wafer: irashobora gutunganya ≥100μm silicon ultra-thin silicon hamwe ninkoni ya kare, igipimo cyo gucamo ibice <0.5%.

- Gukoresha ingufu zikoreshwa neza: Gukoresha ingufu kuri buri gice cyinkoni ya silicon bigabanukaho 30% (nibikoresho gakondo).

Ibipimo bya tekiniki ：

Izina ryibintu	Indangagaciro
Umubare wutubari twatunganijwe	Ibice 2 / gushiraho
Gutunganya umurongo muremure	100 ~ 950mm
Gukora intera	166 ~ 233mm
Gukata umuvuduko	≥40mm / min
Umuvuduko wa diyama	0 ~ 35m / s
Diameter	0,30 mm cyangwa munsi yayo
Gukoresha umurongo	0,06 m / mm cyangwa munsi yayo
Ihuza inkingi ya diameter	Kurangiza inkoni ya kare ya diameter + 2mm, Menya neza igipimo cyo gutambuka
Gukata kumeneka kugenzura	Impande nto ≤0.5mm, Nta gukata, ubuziranenge bwo hejuru
Uburebure bwa Arc	Urutonde rwa projection <1.5mm, Usibye kugoreka inkoni ya silicon
Ibipimo by'imashini (imashini imwe)	4800 × 3020 × 3660mm
Imbaraga zose zapimwe	56kW
Uburemere bwibikoresho byapfuye	12t

Imashini yerekana neza table

Ikintu gisobanutse	Urwego rwo kwihanganirana
Kwihanganira kwaduka kwaduka	± 0.15mm
Umwanya wa kare	≤0.20mm
Inguni ku mpande zose z'inkoni ya kare	90 ° ± 0.05 °
Kuringaniza inkoni ya kare	≤0.15mm
Imashini isubiramo imyanya neza	± 0.05mm